OEM-Lösungen für den Reinraum

Der für den Reinraum ausgelegte und kundenspezifisch aufgebaute X-Y-θx-θy-Manipulator ermöglicht eine präzise Positionierung in vier Achsen. Mit auf die Anwendung angepasste Stellwege und einer kompakten Bauweise ist er für Aufgaben in der Halbleiterfertigung optimal vorbereitet, zum Beispiel für das Ausrichten von Wafern für Mess- und Prüfaufgaben.

Bei der Realisierung dieser OEM-Lösung haben wir unsere Engineering- und unsere Reinraum-Kompetenz eingebracht. Alle Teile des Systems wurden im OWIS Reinraum gereinigt, montiert, vermessen und getestet.

Hauptmerkmale

• X-Y-θx-θy-Manipulator
• Kundenspezifische Ausführung für die präzise Positionierung in vier Achsen
• Ausgelegt für die Anwendung im Reinraum
• Kompakte Bauform auf geringer Grundfläche
• Interne Kabelführung – keine bewegenden Kabel außerhalb des Systems
• Einfache Systemintegration

Typische Anwendungen

• Mess- und Prüfaufgaben unter Reinraumbedingungen

Kompetenzen

• Customizing für Anwendungen im Reinraum
• OEM-Lösungen